解析電渦流傳感器探頭線圈的結(jié)構(gòu)設計
發(fā)布時間：2022-03-20 08:34:56
電渦流傳感器是基于渦流互感效應,，可實現(xiàn)被測對象內(nèi)部缺陷與微量位移的高精度檢測的傳感設備,，因具有非接觸測量、頻響寬,、抗干擾能力強等顯著優(yōu)勢,，廣泛應用于設備無損檢測、在線狀態(tài)監(jiān)測等重要領域,。然而,，伴隨當今檢測領域的不斷拓展與檢測要求的急劇提升，常規(guī)電渦流檢測技術(shù)不適用于微小缺陷檢測,。近幾年依靠微機電系統(tǒng)（MEMS）和柔性制造工藝,，可以制造出結(jié)構(gòu)形式靈活多樣的電渦流傳感器探頭，能夠?qū)崿F(xiàn)電渦流傳感器探頭的小型化,、陣列化和柔性化,，具有高靈敏度、高信噪比,、響應快速等特點,。陣列探頭已成為當前渦流檢測技術(shù)研究的一個難點和熱點。
在渦流檢測中,，陣列探頭的性能決定渦流檢測結(jié)果,，陣列探頭的電參數(shù)直接影響渦流檢測的線性度和靈敏度等參數(shù)。傳統(tǒng)渦流傳感器探頭,，多采用繞線法制作,，有著豐富的經(jīng)驗公式。為實現(xiàn)更高的檢測精度,，縮小陣列探頭線圈單元尺寸,，常使用平面螺旋線圈。但是平面線圈電感較低,，只有在較高的工作頻率才能達到理想的品質(zhì)因數(shù)Q值,，為了獲得更好的性能，采用雙層平面螺旋線圈互聯(lián)結(jié)構(gòu),，但是此結(jié)構(gòu)缺少電參數(shù)經(jīng)驗計算公式,。本文采用解析法，對雙層平面螺旋線圈的電感,、電阻、品質(zhì)因數(shù)等電參數(shù)進行計算,，有效縮短了數(shù)值計算時間,，可以提高電渦流傳感器探頭設計的效率，對于電渦流傳感器探頭線圈結(jié)構(gòu)的設計具有重要的指導意義,。
