典型的毛細管熱式質(zhì)量流量計(CTMF)由表體和流量檢測元件組成,。流量檢測元件安裝在表體內(nèi)與之構(gòu)成一個整體。流經(jīng)表體的一部分規(guī)定量的氣體轉(zhuǎn)入(旁通)流量檢測元件,，由此測出氣體流量,。
簡化的CTMF流量計如圖1所示,，典型的流量檢測元件由一根薄壁管和兩個溫度傳感器組成。加熱器的設置取決于制造廠,，可以和每個溫度傳感器組合在一起,，也可以單獨設置在流量檢測元件的中部，即設置在氣流上游的溫度傳感器(T1)與氣流下游的溫度傳感器(T2)中間,。
由一個精密的電源給流量檢測元件提供恒定的熱量,。在流體靜止的條件下，兩個傳感器測得的溫度相同,。當流量增大時,，熱量從上游傳感器(T1)傳向下游傳感器(T2)。由一個橋路判讀兩者的溫差,，并由一個放大器提供流量輸出信號,。兩個傳感器之間的溫差與質(zhì)量流量成正比。
由于在較大流量下傳導的熱量過多,，采用基本型CTMF流量計只能準確測量很低的流量,，因此CTMF流量計常常和一個層流元件配合使用,。層流元件放置在主管道中產(chǎn)生小壓降,。毛細管的兩端與層流元件的入口和出口相連，產(chǎn)生一個較小的分流通過毛細管,。這種結(jié)構(gòu)可確?？偟臍饬髦杏泄潭ū嚷实臍饬髁鬟^毛細管用于測量。加熱器和溫度傳感器通常放在毛細管上而不是主管道上,。但在其它一些結(jié)構(gòu)中傳感器直接放在主管道上,，即沒有毛細管和層流元件。
雖然CTMF流量計可以配法蘭式管接頭,，但通常都配備螺紋管接頭,。這種CTMF流量計通常與檢測元件下游的流量控制器配套成為一個質(zhì)量流量控制器。電子接口同旁通回路一樣位于同一單元內(nèi),。一個典型的CTMF流量計結(jié)構(gòu)如圖2所示,。
質(zhì)量流量計按測量管內(nèi)徑分為細管型(也有稱毛細管型)和小型兩大類。小型測量管儀表只有直管型,，內(nèi)徑為4mm; 細管型測量管內(nèi)徑僅0.2～0.5mm,，稍大者為0.8～1mm，極容易堵塞,，只適用于凈化無塵氣體,。細管型儀表還有一種帶有調(diào)節(jié)單元和控制閥等組成一體的熱式質(zhì)量流量控制器。所以檢測該類流量計時需要高中壓(一般是0.1MPa以上)的純氮氣(純度為99.99%的高純氮氣)作為介質(zhì),。一般質(zhì)量流量計有兩種顯示方式:質(zhì)量或在標準狀態(tài)(0℃,、101325Pa)下的體積量,。
