解析電渦流傳感器探頭線圈的結構設計
發(fā)布時間：2022-03-20 08:34:56
電渦流傳感器是基于渦流互感效應,，可實現(xiàn)被測對象內部缺陷與微量位移的高精度檢測的傳感設備,，因具有非接觸測量、頻響寬,、抗干擾能力強等顯著優(yōu)勢，廣泛應用于設備無損檢測,、在線狀態(tài)監(jiān)測等重要領域,。然而，伴隨當今檢測領域的不斷拓展與檢測要求的急劇提升,，常規(guī)電渦流檢測技術不適用于微小缺陷檢測,。近幾年依靠微機電系統(tǒng)（MEMS）和柔性制造工藝，可以制造出結構形式靈活多樣的電渦流傳感器探頭,，能夠實現(xiàn)電渦流傳感器探頭的小型化,、陣列化和柔性化，具有高靈敏度,、高信噪比,、響應快速等特點。陣列探頭已成為當前渦流檢測技術研究的一個難點和熱點,。
在渦流檢測中,，陣列探頭的性能決定渦流檢測結果，陣列探頭的電參數(shù)直接影響渦流檢測的線性度和靈敏度等參數(shù),。傳統(tǒng)渦流傳感器探頭,，多采用繞線法制作，有著豐富的經驗公式,。為實現(xiàn)更高的檢測精度,，縮小陣列探頭線圈單元尺寸，常使用平面螺旋線圈,。但是平面線圈電感較低,，只有在較高的工作頻率才能達到理想的品質因數(shù)Q值，為了獲得更好的性能,，采用雙層平面螺旋線圈互聯(lián)結構,，但是此結構缺少電參數(shù)經驗計算公式。本文采用解析法,，對雙層平面螺旋線圈的電感,、電阻,、品質因數(shù)等電參數(shù)進行計算，有效縮短了數(shù)值計算時間,，可以提高電渦流傳感器探頭設計的效率,，對于電渦流傳感器探頭線圈結構的設計具有重要的指導意義。
