流量計（流量傳感器）在工業(yè)過程控制,，汽車電子,、航空航天、生物醫(yī)療,、集成電路和科學研究等方面均發(fā)揮著極其重要的作用,。由于測量原理、適應(yīng)性和特性的不同,，流量計的種類較多,，目前應(yīng)用較廣泛的有：電磁流量計、差壓式流量計,、渦輪流量計,、超聲波流量計、質(zhì)量流量計以及熱式氣體質(zhì)量流量計,。熱式氣體質(zhì)量流量計基于對流傳熱原理,對目標介質(zhì)的質(zhì)量流量進行精確測量,，相比其他類型的流量計具有靈敏度高、體積小及寬量程比等特點,。隨著精細化工,、高端半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，要求流量計可以在更寬的測量范圍內(nèi)穩(wěn)定工作,，即要求流量計具有更寬的量程比,，熱式流量檢測成為最有可能的解決方案之一。
早在上世紀末,，熱式氣體流量計研究的諸多企業(yè)就對量程比這一關(guān)鍵性能指標進行了優(yōu)化和改進,。如美國Kurz公司團隊通過優(yōu)化傳感器特性，將其流量計量程比提升至1000：1,，相對誤差為1%,。為了進一步擴大氣體流量傳感器檢測的范圍，同時保持較高的測量精度,，眾多的研究者提出各種優(yōu)化流量計量程比的方案,。其中，基于MEMS流量傳感器芯片的熱式氣體質(zhì)量流量計方案得益于芯片本身的高信噪比、低功耗,、低成本等優(yōu)勢,，逐步成為目前的主流方向。
N.A. Djuzhev等學者提出了一個雙模式測量系統(tǒng),，熱量模式和風速模式,，開發(fā)寬量程氣體流量傳感器。在低流速（流量速度變化從0.05m/s到1m/s）,，測定風速風向的在高流速（流量速度變化超過1m/s）來衡量流動速度在大范圍從0.05m/s到5m/s,，即100:1的量程比且相對誤差為2%。Kang Woong等學者提出的熱電堆流量計中,，對流量計的敏感區(qū)域的分布進行了研究,，用以擴展測量量程。加熱器與熱電堆之間的距離變化為D/H=0.3,、0.5,、1和2?？蓪崿F(xiàn)5到50L/min 的流量測試,，可實現(xiàn)10:1的量程比且相對誤差為2%。Tianxi Zhang,，等學者提出了一種利用FBG-EFPI作為溫度計的基于熱線效應(yīng)的流量計,。該流量計可實現(xiàn)3000:1的量程比且分辨率為10L/h。
近些年來,，隨著MEMS流量傳感器芯片技術(shù)的逐漸成熟,，其響應(yīng)快（~1ms）、精度高（~0.01sccm, 標準立方厘米分鐘）,、可靠性高（純固態(tài),、無可動部件）等優(yōu)勢異常突出，基于流量芯片的各種流量計也在計量,、檢漏,、控制、通風等各場合獲得廣泛應(yīng)用,。
